用于模具钢的退火炉的制作方法及注意事项

　　本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种用于模具钢的退火炉。

　　背景技术：

　　退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能；热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底；退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的；热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环；退火炉是一种新型换热设备；退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

　　但是，现有的台车式退火炉的运输炉车会随材料一同进入内部进行加工，所以炉体本身的密封性无法得到保障；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种用于模具钢的退火炉。

　　技术实现要素：

　　本实用新型的目的在于提供一种用于模具钢的退火炉，以解决上述背景技术中提出的台车式退火炉的运输炉车会随材料一同进入内部进行加工，所以炉体本身的密封性无法得到保障使用的问题。

　　为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于模具钢的退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体的两侧均设置有炉体支撑柱，且炉体支撑柱有两个，所述退火炉主体的一端设置有退火炉炉门，所述退火炉主体的内部设置有炉腔，所述炉腔的内部设置有电加热管，且电加热管有两个，所述炉腔的外侧设置有耐火砖体，所述耐火砖体的外侧设置有退火炉外体，所述炉腔的上方设置有排烟道，所述退火炉主体的底部设置有电动升降柱，且电动升降柱有多个，所述电动升降柱的下方设置有退火炉底台，所述退火炉底台上方的外表面设置有第一滑道，且第一滑道有两个，所述第一滑道的两侧均设置有料板架，所述第一滑道的一端设置有第二滑道，所述第二滑道的下方设置有支撑底座，所述第二滑道的上方设置有金属移动轮，且金属移动轮有多个，所述金属移动轮的上方设置有运输炉车，所述运输炉车顶部的两端均设置有电动千斤顶，且电动千斤顶有四个，所述电动千斤顶的上方设置有放料板。

　　优选的，所述退火炉主体与炉体支撑柱焊接连接，所述退火炉主体与退火炉炉门通过电动滑轨滑动连接。

　　优选的，所述炉腔与电加热管通过螺钉连接，所述电动升降柱与退火炉主体通过凹槽连接。

　　优选的，所述料板架与退火炉主体焊接连接，所述退火炉底台与第一滑道通过螺钉连接。

　　优选的，所述第二滑道与支撑底座通过螺钉连接，所述电动升降柱与退火炉底台通过螺栓连接。

　　优选的，所述运输炉车与金属移动轮通过支架连接，所述运输炉车与电动千斤顶通过螺栓连接。

　　与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

　　本实用新型的退火炉主体通过两侧的支撑柱对其进行固定支撑，使退火炉底台的底部要高于安装地面，当进行使用时，其底部的升降柱会将底台下降，使表面的滑道与支撑底座的上的滑道对接，之后炉车将放置材料的放料板顶起输送到炉腔内，将放料板放置在料板架上后退出，这时底台会上升并关闭炉门，从而对材料进行退火加工，这样不仅可以最大程度上的保障退火炉整体的密封性，同时也避免炉车随材料一同进行退火加工，影响炉车本身的使用寿命。

　　附图说明

　　图1为本实用新型的整体主视图；

　　图2为本实用新型的运输炉车结构示意图；

　　图3为本实用新型的炉腔剖面结构示意图。

　　图中：1、退火炉主体；2、退火炉炉门；3、退火炉底台；4、电动升降柱；5、料板架；6、第一滑道；7、放料板；8、支撑底座；9、第二滑道；10、金属移动轮；11、电动千斤顶；12、运输炉车；13、炉体支撑柱；14、炉腔；15、耐火砖体；16、退火炉外体；17、电加热管；18、排烟道。

　　具体实施方式

　　下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

　　请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种用于模具钢的退火炉，包括退火炉主体1，退火炉主体1的两侧均设置有炉体支撑柱13，起到支撑作用，且炉体支撑柱13有两个，退火炉主体1的一端设置有退火炉炉门2，退火炉主体1的内部设置有炉腔14，炉腔14的内部设置有电加热管17，且电加热管17有两个，提供热量，炉腔14的外侧设置有耐火砖体15，耐火砖体15的外侧设置有退火炉外体16，炉腔14的上方设置有排烟道18，退火炉主体1的底部设置有电动升降柱4，控制退火炉底台3的上升和下降，且电动升降柱4有多个，电动升降柱4的下方设置有退火炉底台3，退火炉底台3上方的外表面设置有第一滑道6，且第一滑道6有两个，第一滑道6的两侧均设置有料板架5，对放料板7进行支撑，第一滑道6的一端设置有第二滑道9，第二滑道9的下方设置有支撑底座8，第二滑道9的上方设置有金属移动轮10，且金属移动轮10有多个，金属移动轮10的上方设置有运输炉车12，运输炉车12顶部的两端均设置有电动千斤顶11，便于装卸放料板7，且电动千斤顶11有四个，电动千斤顶11的上方设置有放料板7，承载所需加工的材料。

　　进一步，退火炉主体1与炉体支撑柱13焊接连接，对退火炉主体1进行支撑，退火炉主体1与退火炉炉门2通过电动滑轨滑动连接，便于使用。

　　进一步，炉腔14与电加热管17通过螺钉连接，电动升降柱4与退火炉主体1通过凹槽连接，便于进行安装。

　　进一步，料板架5与退火炉主体1焊接连接，退火炉底台3与第一滑道6通过螺钉连接，便于材料的输送。

　　进一步，第二滑道9与支撑底座8通过螺钉连接，电动升降柱4与退火炉底台3通过螺栓连接，增强稳定性。

　　进一步，运输炉车12与金属移动轮10通过支架连接，增强稳定性，运输炉车12与电动千斤顶11通过螺栓连接，便于进行安装。

　　工作原理：使用时，将放料板7平放在四个电动千斤顶11上，再将所需加工的材料放置在放料板7上，当材料放置结束后，通过控制使退火炉主体1底部的电动升降柱4下降，将退火炉底台3与地面进行接触，当退火炉底台3下降后，第一滑道6就会与支撑底座8上的第二滑道9进行对接，然后是运输炉车12沿着滑道进行移动，同时控制电动千斤顶11向上抬起，使放料板7的底部高于退火炉主体1内侧的料板架5，当运输炉车12完全进入退火炉主体1后，使电动千斤顶11下降，将放料板7放置在料板架5上，之后运输炉车12退出退火炉主体1内部，最后将退火炉底台3升起，同时将退火炉炉门2关闭进行退火加工，加工好后运输炉车12再将放料板运出。

　　对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

　　技术特征：

　　1.一种用于模具钢的退火炉，包括退火炉主体(1)，其特征在于：所述退火炉主体(1)的两侧均设置有炉体支撑柱(13)，且炉体支撑柱(13)有两个，所述退火炉主体(1)的一端设置有退火炉炉门(2)，所述退火炉主体(1)的内部设置有炉腔(14)，所述炉腔(14)的内部设置有电加热管(17)，且电加热管(17)有两个，所述炉腔(14)的外侧设置有耐火砖体(15)，所述耐火砖体(15)的外侧设置有退火炉外体(16)，所述炉腔(14)的上方设置有排烟道(18)，所述退火炉主体(1)的底部设置有电动升降柱(4)，且电动升降柱(4)有多个，所述电动升降柱(4)的下方设置有退火炉底台(3)，所述退火炉底台(3)上方的外表面设置有第一滑道(6)，且第一滑道(6)有两个，所述第一滑道(6)的两侧均设置有料板架(5)，所述第一滑道(6)的一端设置有第二滑道(9)，所述第二滑道(9)的下方设置有支撑底座(8)，所述第二滑道(9)的上方设置有金属移动轮(10)，且金属移动轮(10)有多个，所述金属移动轮(10)的上方设置有运输炉车(12)，所述运输炉车(12)顶部的两端均设置有电动千斤顶(11)，且电动千斤顶(11)有四个，所述电动千斤顶(11)的上方设置有放料板(7)。

　　2.根据权利要求1所述的一种用于模具钢的退火炉，其特征在于：所述退火炉主体(1)与炉体支撑柱(13)焊接连接，所述退火炉主体(1)与退火炉炉门(2)通过电动滑轨滑动连接。

　　3.根据权利要求1所述的一种用于模具钢的退火炉，其特征在于：所述炉腔(14)与电加热管(17)通过螺钉连接，所述电动升降柱(4)与退火炉主体(1)通过凹槽连接。

　　4.根据权利要求1所述的一种用于模具钢的退火炉，其特征在于：所述料板架(5)与退火炉主体(1)焊接连接，所述退火炉底台(3)与第一滑道(6)通过螺钉连接。

　　5.根据权利要求1所述的一种用于模具钢的退火炉，其特征在于：所述第二滑道(9)与支撑底座(8)通过螺钉连接，所述电动升降柱(4)与退火炉底台(3)通过螺栓连接。

　　6.根据权利要求1所述的一种用于模具钢的退火炉，其特征在于：所述运输炉车(12)与金属移动轮(10)通过支架连接，所述运输炉车(12)与电动千斤顶(11)通过螺栓连接。

　　技术总结

　　本实用新型公开了一种用于模具钢的退火炉，涉及退火炉技术领域，为解决现有技术中的台车式退火炉的运输炉车会随材料一同进入内部进行加工，所以炉体本身的密封性无法得到保障使用的问题。所述退火炉主体的两侧均设置有炉体支撑柱，且炉体支撑柱有两个，所述退火炉主体的一端设置有退火炉炉门，所述退火炉主体的内部设置有炉腔，所述炉腔的内部设置有电加热管，且电加热管有两个，所述炉腔的外侧设置有耐火砖体，所述耐火砖体的外侧设置有退火炉外体，所述炉腔的上方设置有排烟道，所述退火炉主体的底部设置有电动升降柱，且电动升降柱有多个，所述电动升降柱的下方设置有退火炉底台，所述退火炉底台上方的外表面设置有第一滑道。

　　技术研发人员：周光富;余红庆;周立新

　　受保护的技术使用者：湖北日盛科技有限公司

　　技术研发日：2019.03.13

　　技术公布日：2019.11.22